수평식 튜브로 buy in 대구시 on 한국어
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    대한민국, 대구시
    수평식 튜브로
    - Horizontal Tube Furnace
    - 발열체 : SiC
    - 프로세스 튜브 : Quartz

    분위기 기스
    - Ar / N2 / O2 /He / Vacuum


    - wafer 열처리, 신소재 산화, 소결, 환원 등.

    - Heater temperature : 200℃ ~ 1300℃
    - Furnace tube : 1 - tube (Max 3-tube)
    - Wafer size : 4 inch, 6 inch, 8 inch
    - Loading capacity : 15 ~ 100 pcs
    - Ultimate pressure : 5×10 -3 torr
    - Vacuum pump : Rotary pump (option : Booster or Turbo pump)
    - Heater : SiC
    - Process control : Auto process. control
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