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MPAsp-H700

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대한민국, 서울시
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설명
8세대 장비 2.5um / 대화면 대응
제6세대 기판size 1500mm×1850mm에 대응한 노광장치

주요한 특징

제8세대 기판size 2200mm×2500mm 에 대응
57형wide까지 일괄노광 가능
2종류의 mask를 자동 선택하는 기능에 의한 mask cost삭감
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